热式风速计的动作原理
Ø
风速测试
被加热的风速传感器如遇到风，因冷却，传感器的温度将降低，但如果增加电流量，传感器又回到了原来的温度。传感器温度保持一定所需的电流量与风速值相关，测试该电流量就可得到风速值。
Ø 风温测试
白金薄膜（或卷线）的电阻值与温度成比例关系。
把传感器放置在与风温相同的环境下，通过测试其电阻值就可得出风温。
Ø
压力测试
采用内藏半导体压力传感器的膜片，测试管道内的静压与大气压的差。也可以测试超净间等室内与室外的压力差。
Ø 湿度测试
传感器是一对电容，电容量因含在戏水性高分子里面的水分而变化。
结构由玻璃底座、下部电极、高分子薄膜及、上部电极构成。
由电极捕捉高分子薄膜的吸离而产生的感应率的变化。该容量变化与相对湿度成比例。（静电容型）除此之外，还有电阻型，但从精度来讲，一般静电容型在低湿域较强，电阻型在高湿域较强。
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